Microscopio de barrido de doble haz (SEM-FIB)

Se trata de un equipo versátil que puede funcionar como un microscopio de barrido estándar y como estación de microfabricación. Por una parte, permite la caracterización de superficies de materiales metálicos y cerámicos, tamaño de partículas, tamaño de poros, superficies de fractura, desgaste, distribución de granos, defectos superficiales, entre otros. Su modo de trabajo de bajo vacío permite utilizarlo para caracterizar estructuras no conductoras sin necesidad de metalizado. Por otra parte, el equipo cuenta con un haz adicional de iones que permite realizar cortes y micromaquinado de muestras en forma simultánea con su observación.
El equipo cuenta con detectores de electrones secundarios, electrones retrodispersados y rayos X dispersivo en energía (EDS). También posee limpiador por plasma interno, nanomanipulador y sistema de inyección para 5 gases precursores distintos.